Deutsches Unternehmen Merck plant Herstellung von Halbleiter-Materialien in Südkorea

23. Juni 2022

Das deutsche Unternehmen Merck plant die Herstellung von chemisch-mechanischer Schleifpaste (CMP) in Südkorea. Derzeit laufen Qualitätstests mit der CMP für Kunden in Südkorea. Merck geht davon aus, im ersten Halbjahr 2022 mit der Auslieferung zu beginnen. CMP ist ein Material, das zum Polieren und Glätten von Halbleiter-Wafern verwendet wird. Dazu wird es zwischen den Wafer und ein rotierendes Schleifkissen aufgebracht. Bereits zuvor hat Merck eine CMP-Produktionsanlage in Pyeongteak, Provinz Gyeonggi, errichtet. Das Forschungs- und Entwicklungszentrum sowie die Fabrik befinden sich im Korea Advanced Technology Center (K-ATeC), das 2020 eröffnet wurde. Ausrüstung, die in Produktionsanlagen für dies Produktkategorie zum Einsatz kommt, benötigt in vielen Fällen KC-Zertifizierung, um in Korea zugelassen zu sein.

 

 

Die Zusammensetzung der CMP hängt vom jeweiligen Kunden ab. Daher besteht ein Trend, dieses Material vor Ort zusammen mit dem Kunden zu entwickeln und auch dort herzustellen. Dadurch lassen sich auch Änderungen der Zusammensetzung schneller umsetzen. Indessen hat die japanische Showa Denko ebenfalls eine CMP-Fabrik in Südkorea in Betrieb genommen. Daher erwarten Experten einen zunehmenden Wettbewerb zwischen ausländischen Unternehmen und einheimischen Firmen wie Dongjin Semichem und KCTech.

Merck plant außerdem die Herstellung von sogenannter EUV-Waschlösung in Südkorea. Nach der Belichtung mit extrem starken UV-Licht (EUV) werden die Rückstände mit dieser Waschlösung entfernt. Dazu wird eine wesentlich andere Zusammensetzung als beim Prozess mit anderen Lichtquellen wie Argonflourid (ArF) benötigt. Versum Materials, das Merck im Jahr 2019 übernommen hat, verstärkt ebenfalls seine Präsenz auf dem koreanischen Halbleiter-Markt. Versum Materials liefert Komponenten mit Double Patterning Technologie (DPT) an Samsung Electronics und andere Hersteller. DPT verhindert Beschädigungen an den Halbleitern während der Produktion der Mikro-Schaltkreise. Samsung Electronics setzt die Lösung von Versum Materials für ungefähr die Hälfte seiner Produktion von DPT-Komponenten ein.

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